紫外探测技术在空间天文观测、环境监测、火焰预警、保密通信及生物医学等领域具有重要应用价值。传统硅基紫外探测器存在可见光盲区性能不足、需复杂滤波系统、以及在恶劣环境下稳定性差等挑战。宽带隙半导体材料碳化硅(SiC),特别是其4H晶型,以其优异的物理化学性质,成为制备高性能紫外探测器的理想选择。河北半导体研究所周幸叶研究员及其团队,长期致力于4H-SiC基光电器件的研究与开发,在紫外探测用高性能4H-SiC雪崩光电二极管(APD)及其阵列方面取得了系列创新成果,为我国在该前沿领域的自主发展做出了重要贡献。
4H-SiC材料具有约3.26 eV的宽禁带宽度,使其本征吸收边位于紫外波段(约380 nm),对可见光及红外光天然“盲视”,无需外加滤波片即可实现高信噪比的“日盲”或“紫外盲”探测。4H-SiC具有高热导率、高击穿电场、高电子饱和漂移速度以及优异的抗辐射能力和化学稳定性,特别适合制备用于高温、强辐射等极端环境下的高灵敏度、高响应速度、高可靠性的紫外探测器。
雪崩光电二极管(APD)作为一种内部具有增益机制的光电探测器,能够在器件内部通过碰撞电离效应将光生载流子倍增,从而获得远高于普通PIN光电二极管的光电流增益,显著提升器件的探测灵敏度,尤其适用于微弱紫外信号的探测。周幸叶团队聚焦于4H-SiC APD的核心科学与技术问题,从材料外延生长、器件结构设计、工艺制备到性能表征,进行了一系列系统性攻关。
在材料与器件设计方面,团队深入研究了4H-SiC外延层中的缺陷控制、掺杂浓度与分布的精确调控,为制备高性能APD奠定了材料基础。他们创新设计了具有分离吸收和倍增(SAM)或分离吸收、渐变和倍增(SAGM)等结构的4H-SiC APD,优化了电场分布,以降低暗电流噪声,同时实现高效的光生载流子注入和高倍增效率。通过精确控制倍增区的宽度和掺杂,使器件在获得高倍增增益(可达10^4量级)的保持较低的过剩噪声因子,提升了器件的探测能力。
在工艺制备方面,团队攻克了4H-SiC的干法刻蚀、高质量介质膜生长、低损伤欧姆接触、钝化保护以及台面/平面结型器件制备等一系列关键工艺,确保了器件的性能与可靠性。所制备的单管4H-SiC APD器件在紫外波段(如270-370 nm)表现出高响应度、高增益、低暗电流、快速响应等优异特性,其性能指标达到国际先进水平。
除了高性能单管器件,面向成像、光谱分析等应用需求,周幸叶团队进一步将研究拓展至阵列化集成。4H-SiC APD阵列的研制涉及像素单元的一致性、串扰抑制、读出电路集成等多重挑战。团队通过优化版图设计、改进隔离工艺、探索单片集成或混合集成的路径,成功研制出小规模高性能4H-SiC APD线阵或面阵原型器件,验证了其在紫外成像等方面的应用潜力,为实现大面阵、高分辨率的紫外焦平面探测器奠定了基础。
河北半导体研究所周幸叶团队在紫外探测用高性能4H-SiC雪崩光电二极管及其阵列方面的研究工作,系统推进了我国在宽禁带半导体紫外探测领域的自主创新能力。这些成果不仅具有重要的科学价值,也为发展满足国家重大需求的高端紫外探测装备提供了核心器件支撑。随着材料生长与器件工艺的进一步成熟,以及与大尺寸晶圆技术、三维集成技术的结合,4H-SiC APD及其阵列有望在深空探测、导弹预警、电网安全监测、生化检测等更多关键领域实现规模化应用,展现出广阔的发展前景。